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本发明涉及光电材料领域，提供一种蓝宝石基碲氮共掺氧化锌透明导电材料生产方法及设备，方法包括：通过等离子体增强原子层沉积法，在蓝宝石基底的表面依次形成多层应力调控结构，包括第一氧化锌层、锌镁氧层、第二氧化锌层以及氧化铝模板层，锌镁氧层的晶格常...
该专利属于国鲸合创（青岛）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国鲸合创（青岛）科技有限公司授权不得商用。

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