下载炉门调节机构、炉门机构以及加工设备的技术资料

文档序号:42608890

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本申请提供了一种炉门调节机构、炉门机构以及加工设备,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了炉门调节灵活性差的技术问题。炉门调节机构包括:支撑架组件;至少两根调节杆,至少两根调节杆在与竖直平面交叉的平面上间隔设置,每一调节杆能够沿调节杆的长度方...
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