温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种采用PEALD制备低氧含量低电阻率的氮化钛的方法，涉及半导体工艺技术领域。通过从制样细节、本底真空度、工艺气体纯度、离子源部件以及工艺配方上进行了彻底的优化，最大限度的降低各个步骤中氧杂质的污染，最终实现了较低氧含量氮化钛薄...
该专利属于厦门韫茂科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门韫茂科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。