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本技术涉及半导体生产加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种SOT切筋裂纹的检测装置，一种可以使工作人员快捷的对不同规格型号的半导体进行裂纹检测，从而提高了对半导体进行裂纹检测的工作效率和效果，因此增强了实用性的SOT切筋裂纹的检测装置；包括...
该专利属于江苏盐芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏盐芯微电子有限公司授权不得商用。

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