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本发明公开了一种采用一体加工式轮式阀的压电微泵及其工作方法；该压电微泵包括驱动部件和进气泄气部分；驱动部件依次层叠的有封闭层、阻挠层、振动基板层、供电层；进气泄气部分包括顶盖，以及设置在顶盖内并依次层叠的阀座层和隔膜层。阻挠层靠近振动基板层...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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