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一种基于纤芯错位MZI传感的光流控检测芯片制造技术
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文档序号:42596345
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本技术公开了一种基于纤芯错位MZI传感的光流控检测芯片,涉及微流控芯片领域,至少包括基板和光纤,所述基板的底部设有一U型流道,所述U型流道的两端各设有一U型定位槽,每个U型定位槽的中间位置均设有一光纤固定槽,每个光纤固定槽内均设有一可拆卸的...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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