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本技术公开了一种成品板返工清洗篮，包括由框骨和框架导杆组成的挂篮以及固定安装在挂篮内部的若干组分隔板；所述分隔板与分隔板之间、挂篮与分隔板之间均设置有容置陶瓷基板的夹层，所述挂篮和分隔板均为入口大而出口小的倒梯形结构，涉及陶瓷基板返工清洗装...
该专利属于安徽陶芯科半导体新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽陶芯科半导体新材料有限公司授权不得商用。

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