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本发明公开了一种真空干燥软烤设备及真空干燥软烤工艺。该真空干燥软烤设备包含至少一真空腔室以及至少一加热单元。各真空腔室具有一承载台以承载表面形成有湿膜层的一基板。加热单元设置于真空腔室内，并邻近基板。本发明能够缩减工艺设备空间，缩短真空干燥...
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