下载一种单晶直拉过程功率自动标定修正方法及系统的技术资料

文档序号:42564069

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本发明提供一种单晶直拉过程功率自动标定修正方法,包括:实时监测单晶放肩直径,从而判断肩型生长趋势,决策温度补偿方向;每间隔一段时间计算一次设定生长速率与实际生长速率的偏差速率,根据所计算偏差速率与系数换算,得出补偿功率,在后置时间段内根据补...
该专利属于内蒙古中环晶体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环晶体材料有限公司授权不得商用。

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