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一种基于表面等离子体的微环电光调制器及其制备方法，包括：氧化硅层和铌酸锂层，其中：铌酸锂层上表面设有构成谐振环的欠耦合的硅跑道微环和直波导，直波导的两端分别为输入端和输出端，铌酸锂层中设有将光波转化为表面等离子体波的铌酸锂尖锥模式转换结构、...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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