下载具有差异性掺杂的太阳能电池的单次扩散制造方法的技术资料

文档序号:4254459

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本发明涉及一种具有差异性掺杂的太阳能电池的单次扩散制造方法,该方法包含下列步骤:首先提供一基材,并在其上形成一掺杂浓度控制层。掺杂浓度控制层至少包含多个开口形成于其中。接着进行掺杂工艺,使得位于掺杂浓度控制层开口下方的基材,形成重掺杂区,并...
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