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提供了一种用于对半导体样本进行检查的系统和方法。该方法包括生成与在样本的制造工艺期间依次制造和检查的样本序列相对应的异常得分序列，这包括对于每个给定样本：获得由检查工具采集的给定样本的图像；使用机器学习(ML)模型来处理该图像并获得指示该图...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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