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磁头滑块的研磨装置和研磨方法制造方法及图纸
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文档序号:4251539
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本发明提供一种在元件高度形成研磨工序后的表面加工研磨工序中,抑制元件研磨量偏差的研磨装置和研磨方法。磁头滑块研磨装置1包括:能够把要成为磁头滑块的元件S压紧并支撑在旋转的研磨平盘上的研磨头2;设置有沿垂直方向延伸的第一嵌合部件12并支持研磨...
该专利属于新科实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新科实业有限公司授权不得商用。
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