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本发明涉及用于生物ＭＥＭＳ领域的悬空聚对二甲苯薄膜结构及其制备工艺。本发明的悬空聚对二甲苯薄膜结构是在有孔衬底上化学气相沉积聚对二甲苯形成聚合物悬空薄膜，因此其薄膜厚度可以精确控制，并且，由于沉积聚对二甲苯时的要求很低，不需要牺牲层填充物，...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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