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本发明提供了一种基于氮化铝薄膜的压电式压力传感器及其制备方法和集成化方法，属于压力传感器技术领域。本发明提供的基于氮化铝薄膜的压电式压力传感器，从下至上依次包括重掺杂的硅衬底、二氧化硅绝缘层、氮化铝薄膜和金属薄膜电极；所述金属薄膜电极的数目...
该专利属于电子科技大学中山学院所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学中山学院授权不得商用。

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