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一种可变量程的高分辨率角位移测量装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:42498030
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本发明涉及角位移测量技术领域,更具体地,涉及一种可变量程的高分辨率角位移测量装置及方法。当待测角度较小时,装置为高分辨率模式,此时探测器上的两光斑叠加干涉,利用干涉效应进行角位移测量;当待测角度较大时,装置为大量程模式,此时探测器上的两光斑...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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