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本发明提供了一种基于CMOS兼容的等离子体氮化物纳米孔阵列光传感芯片及其制备方法和应用，属于光学微纳结构设计和片上集成微纳传感芯片领域。该光传感芯片结构包括由下而上依次层叠设置的基底层、间隔层以及等离子体氮化物纳米孔阵列层。等离子体氮化物纳...
该专利属于武汉纺织大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉纺织大学授权不得商用。

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