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本发明涉及一种石墨型原子氧密度传感器，属于气体探测技术领域。本发明包括底座、绝缘垫、陶瓷基片、石墨膜、盖板、引线和金电极；其中，绝缘垫放置在底座之内，陶瓷基片上放置绝缘垫之上；陶瓷基片上沉积石墨膜和电极，石墨膜与电极相连；其制备过程为：在陶...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所授权不得商用。