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本发明实施例提供一种半导体结构及其形成方法,所述结构包括:衬底、埋层、掺杂层、阱区、第一隔离阱区,围绕所述阱区设置,与所述掺杂层相连接形成用于隔离所述阱区的第一隔离结构;第二隔离阱区,围绕所述第一隔离阱区设置,与所述埋层相连接形成用于隔离所...该专利属于中芯国际集成电路制造(天津)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(天津)有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供一种半导体结构及其形成方法,所述结构包括:衬底、埋层、掺杂层、阱区、第一隔离阱区,围绕所述阱区设置,与所述掺杂层相连接形成用于隔离所述阱区的第一隔离结构;第二隔离阱区,围绕所述第一隔离阱区设置,与所述埋层相连接形成用于隔离所...