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本发明涉及超精密加工技术领域，具体涉及一种基于三轴快速刀具伺服机构的差分式三维力检测机构，包括三维力传递柔性机构、外围框架、沿Z向安装的压电力传感器、沿X及Y向安装的压电力传感器，通过五个并联的柔性铰链的传动与约束作用，使柔性机构具有三轴解...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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