下载形成金属锂涂层的方法的技术资料

文档序号:42476046

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本发明公开了一种在基板上形成锂涂层的方法,其包括:熔化固态锂靶,以形成熔融锂靶;搅拌熔融锂靶;蒸发至少部分搅拌的熔融锂靶,以形成蒸发的材料;以及将蒸发的材料冷凝在基板上,以形成锂涂层。...
该专利属于西格玛锂业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西格玛锂业有限公司授权不得商用。

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