下载PECVD用硅片载片器的转换装置的技术资料

文档序号:4247115

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本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的转换装置,其包括正方形的框体,框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等,框体内设置有正方形内孔,内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。本实用新型安装于第一种规格的硅片载片器内,将第一种规...
该专利属于无锡绿波新能源设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡绿波新能源设备有限公司授权不得商用。

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