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本技术属于真空吸附技术领域，公开自锁阀、真空吸附部件及真空吸附设备，自锁阀设置于真空吸附设备的真空通道的一侧，自锁阀包括封堵部和弹性变形部，弹性变形部与封堵部相连接，弹性变形部设有气孔；当真空吸附设备的吸附端未设有工件时，封堵部靠近并封堵真...
该专利属于东莞市神州视觉科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市神州视觉科技有限公司授权不得商用。

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