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电光调制器制造技术
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文档序号:42455205
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本发明提供了一种电光调制器,该电光调制器包括衬底层、设置于衬底层上的波导和电极结构;其中,波导包括波导核心层和波导包层;波导核心层包括狭缝波导,狭缝波导包括第一波导、中间狭缝层和第二波导;电极结构包括多个电极,多个电极用于产生电场;电场用于...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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