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本发明公开了一种光学元件洁净处理装置，包括激光约束单元和静电吸附单元，激光约束单元包括激光系统和光束整形系统。本发明提供一种光学元件洁净处理方法，利用光束整形系统将激光系统发出的激光束整形为高斯光束，使静电吸附单元产生的电场覆盖高斯光场；控...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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