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本发明公开了一种静电激励微机电致动器及其制造方法。致动器的结构包括一组静电电容性单元，其在被静电激励时产生局部扭矩。周边固定和激励的单元结构以多种方式在竖直方向上在几微米或几十微米的范围内变形，从而允许执行AFM传感器或微流控控制器的功能。...
该专利属于考纳斯科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过考纳斯科技大学授权不得商用。

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