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本实用新型涉及一种超高纯氢氟酸的提纯装置，包括原料槽（１）、氧化处理器Ⅰ（２）、过滤器Ⅰ（３）、氧化处理器Ⅱ（４）、过滤器Ⅱ（５）、精馏塔（６）、冷却器（７）、过滤器（８）、吸收塔（９）、微滤器（１０）和成品接收器（１１）。本实用新型超高纯...该专利属于江阴市润玛电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴市润玛电子材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种超高纯氢氟酸的提纯装置，包括原料槽（１）、氧化处理器Ⅰ（２）、过滤器Ⅰ（３）、氧化处理器Ⅱ（４）、过滤器Ⅱ（５）、精馏塔（６）、冷却器（７）、过滤器（８）、吸收塔（９）、微滤器（１０）和成品接收器（１１）。本实用新型超高纯...