下载长晶炉体结构配置的技术资料

文档序号:4241256

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本发明是关于一种长晶炉体结构配置,其将隔离室与人员控制室分开并排设置,并利用二室间的隔离门以隔离人员控制室与隔离室。隔离室内容设有炉底盖,隔离室的顶板上方盖设有炉上腔,炉上腔与炉底盖并彼此对应盖合形成长晶炉。由于隔离室与人员控制室相互隔离,...
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