下载一种用于在硬质合金刀具表面沉积复合涂层的真空镀膜装置的技术资料

文档序号:42403131

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本技术涉及硬质合金刀具表面涂层技术领域,尤其是一种沉积在硬质合金刀具表面的复合涂层及真空镀膜装置。该复合涂层由刀具的基体向外侧依次为Cr打底层、Cr‑N中间过渡层和CrAlN主体层;所述复合涂层的厚度为1.8~2μm。真空镀膜装置,包括PV...
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