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本发明公开了一种用于反应容器的冷却系统,涉及设备冷却技术领域,包括内置冷却系统,其中具体设置有内置冷却管,所述内置冷却管固定安装于外反应容器保温桶上,所述内置冷却管的输入端固定安装于冷却循环外机的输出端,滑行清理系统,其中具体设置有滑板,所...该专利属于国镓芯科(成都)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国镓芯科(成都)半导体科技有限公司授权不得商用。
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