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用于化学源容器的液位传感器制造技术
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下载用于化学源容器的液位传感器的技术资料
文档序号:42379009
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本发明公开了一种用于容纳液体化学前体的化学容器,所述化学容器包括液位传感器管。液位传感器管被构造成在液体化学前体被加热到沸点或蒸发点的环境中操作。液位传感器管包括具有内置的槽的壳体,以防止设置在所述液位传感器管内的传感器的任何错误读数。...
该专利属于ASMIP私人控股有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASMIP私人控股有限公司授权不得商用。
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