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本申请涉及一种烘烤系统的热板结构及烘烤干燥装置，所述烘烤系统的热板结构包括：板体，所述板体用于承载基板，所述板体包括边缘区和中央区，所述边缘区为所述板体的边缘部分，所述中央区为所述板体的中间部分；多条加热管道，多条所述加热管道均嵌设于所述板...
该专利属于武汉国创科光电装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉国创科光电装备有限公司授权不得商用。

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