下载一种光伏电池扩散工序方阻在线测量、自动调整的方法的技术资料

文档序号:42372007

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本发明公开了一种光伏电池扩散工序方阻在线测量、自动调整的方法,包括扩散炉管、在线方阻测试仪、炉管控制电脑及中控SPC;所述扩散炉管与在线方阻测试仪之间增设有机械手吸盘,扩散炉管中的电池片下料至花篮,机械手吸盘在花篮中取片放至在线方阻测试仪;...
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