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本技术涉及气体混配技术领域，具体是一种气氛可控的混配系统。本技术包括主体框架，该主体框架上安装有至少两个主支管，至少两个主支管上均连接有质量流量控制器，且至少两个主支管的末端均与第一混合组件连接，所述主体框架上还设置有用于检测第一混合组件中...
该专利属于合肥恒力装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥恒力装备有限公司授权不得商用。

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