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本发明公开了一种双极多阵列电晕放电SF6气体传感器及其制备方法，所述传感器包括双极镀碳薄膜的硅纳米针尖阵列单元、绝缘材料夹层和直流电源；绝缘材料夹层设于双极镀碳薄膜的硅纳米针尖阵列单元两端；双极镀碳薄膜的硅纳米针尖阵列单元通过导线连接直流电...
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