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本技术涉及真空泵技术领域，具体公开了一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，包括腔体内部压力传感器、连接法兰内部压力传感器、加热模块以及控制模块，所述的腔体内部压力传感器设置在真空泵的腔体内，所述的连接法兰内部压力传感器和加热模块均设置...
该专利属于四川莱斯特真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川莱斯特真空科技有限公司授权不得商用。

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