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本发明提供氧化硅膜与氮化硅膜的选择比高，且成为研磨划痕的原因的磨粒的凝聚得到抑制的研磨剂，和研磨剂用添加液，以及能够高速研磨且研磨划痕得到抑制的研磨方法。该研磨剂包含磨粒、水溶性聚合物和水，上述水溶性聚合物是单体(A)与除单体(A)以外的单...
该专利属于AGC株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过AGC株式会社授权不得商用。

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