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本发明涉及人工智能领域，公开了一种图案化晶圆表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，该方法通过采集并处理图案化晶圆图像数据，获得待测晶圆中待测晶粒的缺陷样本数据集和正常样本数据集，构建Defect‑GAN网络，利用数据集，通过Defect‑...
该专利属于中国地质大学（武汉）所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学（武汉）授权不得商用。

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