下载一种基于石墨炔的湿度传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:42333302

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本发明为一种基于石墨炔的湿度传感器及其制备方法。该传感器件的结构自下而上分别为衬底、功能层和叉指电极;所述功能层为石墨炔薄膜;石墨炔薄膜的大小为0.5×0.5~1×1cm,厚度为70~100nm。本发明通过引入具有湿度响应的石墨炔薄膜,利用...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。

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