温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种气相沉积螺旋喷嘴，包括分布喷头；所述分布喷头底部安装于基座；所述分布喷头中心开设有主喷孔；所述分布喷头外表面铣削有螺旋形凹槽；沿所述分布喷头的周向，在所述螺旋形凹槽内部间隔开设有若干倾斜的螺旋槽喷孔；所述分布喷头内设置有分别连...
该专利属于中京兴泰（北京）科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中京兴泰（北京）科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。