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本技术公开了一种从制氮机残液中回收冷量的装置，涉及到能量回收技术领域，包括与制氮机连接的主管路以及与主管路连接的第一管路和第二管路，还包括冷却水箱、盘管、第三管路、冷量控制阀、进水管、出水管和第一温度传感器，盘管设于冷却水箱内，第一管路的一...
该专利属于上海至嘉半导体气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至嘉半导体气体有限公司授权不得商用。

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