温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种压电微机械超声换能器(PMUT)阵列包括衬底，衬底具有被掩埋在其中的第一腔和第二腔。第一压电堆叠体由衬底承载并且至少部分地覆盖第一腔。第二压电堆叠体由衬底承载并且至少部分地覆盖第二腔。第二腔与第二压电堆叠体之间的衬底的厚度形成膜。电路装...
该专利属于意法半导体国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体国际公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。