下载结型场效应管控制型RC-IGBT器件及其制备方法的技术资料

文档序号:42302485

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本发明提供一种结型场效应管控制型RC‑IGBT器件及其制备方法,器件包括:依次层叠的金属集电极、集电区、N型漂移区、P阱、N型载流子阻挡层、P型基区、N型发射区和金属发射极;主控制栅极结构,自P型基区延伸至N型漂移区中;发射栅极结构,自P型...
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