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本申请实施例提供了一种碳化硅晶体管的结构和制备方法，该碳化硅晶体管的结构包括：碳化硅衬底，碳化硅衬底中掺杂有第一元素；外延层，外延层设置于碳化硅衬底的上表面；第一金属层，第一金属层设置于碳化硅衬底的下表面，第一金属层与碳化硅衬底之间形成欧姆...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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