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在多晶硅的生产中,弛放大量的尾气,变压吸附法(PSA)是分离回收尾气的好方法。本发明涉及的是用于PSA工艺吸附剂的制备方法。这种吸附剂是一种经过特殊加工的改性活性炭,耐高温,不掉粉尘,适于尾气的分离回收再利用,可以获得高品质的多晶硅产品。...该专利属于四川省达科特能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川省达科特能源科技有限公司授权不得商用。
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在多晶硅的生产中,弛放大量的尾气,变压吸附法(PSA)是分离回收尾气的好方法。本发明涉及的是用于PSA工艺吸附剂的制备方法。这种吸附剂是一种经过特殊加工的改性活性炭,耐高温,不掉粉尘,适于尾气的分离回收再利用,可以获得高品质的多晶硅产品。...