下载一种清洁度检测系统和检测方法的技术资料

文档序号:42232095

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本发明公开了一种清洁度检测系统和检测方法,其中检测系统包括采集装置,采集装置用于提取附着在待测工件表面颗粒的滤纸。载物台,载物台用于放置滤纸,并能带动滤纸在三个轴向上移动。光学采集装置,光学采集装置用于对滤纸进行图像采集形成图像数据,图像数...
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