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一种MEMS(微机电系统)谐振器组件(100)，包括：支撑结构(102)、悬置在所述支撑结构(102)上的谐振器元件(101)以及用于将所述谐振器元件(101)激发到谐振模态的致动器。谐振器元件(101)以谐振频率f<subgt;0&...
该专利属于京瓷技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过京瓷技术公司授权不得商用。

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