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基于原子力显微镜的纳米电子薄膜微区压电系数测量方法，涉及材料物化特性的分析与表征，具体涉及一种基于原子力显微镜的测量薄膜材料压电系数的方法。在待测压电材料上施加交流电压Ｖ↓［ｒｅｆ］，使之产生形变σ＝ｄ.Ｖ↓［ｒｅｆ］；利用原子力显微镜的光...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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