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本发明公开了一种等离子体加工用微波中和器及其应用方法,本发明的等离子体加工用微波中和器包括放电室、环形永磁体、微波天线、电子提取栅网和微波接头,放电室中设有内孔,内孔的一端开口且开口处安装有电子提取栅网、另一端设有贯穿放电室内壁的进气孔,环...该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。
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本发明公开了一种等离子体加工用微波中和器及其应用方法,本发明的等离子体加工用微波中和器包括放电室、环形永磁体、微波天线、电子提取栅网和微波接头,放电室中设有内孔,内孔的一端开口且开口处安装有电子提取栅网、另一端设有贯穿放电室内壁的进气孔,环...