下载阵列基板及超声检测装置的技术资料

文档序号:42204511

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本公开提供的阵列基板及超声检测装置,包括:衬底基板,位于衬底基板上的控制电路和压电单元;控制电路包括:第一晶体管和第二晶体管;第一晶体管的有源层的材料为低温多晶硅材料;第二晶体管的有源层的材料为氧化物材料;第二晶体管的栅极所在膜层与第二晶体...
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